国际团队提出aZIF薄膜制备新方法，助力半导体光刻胶领域发展

　　据中国化工报，华东理工大学副教授庄黎伟、美国约翰霍普金斯大学教授迈克尔·萨帕希斯领衔的国际合作团队，提出了一种间歇性旋涂化学液相沉积制备非晶态沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜的方法，实现了薄膜沉积速率和厚度的可控，并进行了电子束光刻和超越极紫外光刻验证。这一创新方法为半导体光刻胶领域带来了重要突破，相关研究近日发表于《自然—化学工程》。据介绍，近年来，aZIF薄膜被用作先进光刻胶，而实现aZIF薄膜的大面积、高精度可控制备，对相关领域的先进光刻工艺具有重大意义。在前期基于超稀释前驱体溶液赋能化学液相沉积法制备aZIF薄膜策略的基础上，研究团队提出了制备aZIF薄膜的新方法。

　　根据公司经营业务以及自身在投资者关系互动平台的披露，A股市场布局半导体光刻胶业务的公司有上海新阳、南大光电、聚光科技等20家，这些公司中既有属于半导体产业链上下游公司，也有公司的子公司或参股公司参与半导体光刻胶业务，形成了较为完整的产业生态。随着技术的不断进步，半导体光刻胶领域的发展前景愈发广阔。

（文章来源：人民财讯）

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