科创板半导体设备2025年中报：营收增长，头部企业领跑，AI驱动产业升级

　　《科创板日报》8月31日讯（记者陈俊清）截至目前，科创板半导体设备行业公司均已披露2025年半年度报告，半导体设备市场呈现蓬勃发展态势。据《科创板日报》记者统计，科创板共有13家半导体设备企业，其业务范围涵盖刻蚀设备、薄膜沉积、测试设备、清洗设备等细分领域，形成完整产业链布局。

　　具体来看，12家科创板半导体设备企业在2025年上半年实现了营收正增长，其中2家增速超五成、5家增速超四成；有8家企业归母净利润为正且实现同比增长，2家增速超七成。从营收维度来看，2025年上半年，科创板13家半导体设备企业合计营收超201亿元，同比增长中位数约31%，其营收增幅排为：拓荆科技、中科飞测、京仪装备、中微公司、华峰测控、盛美上海、华海清科、耐科装备、先锋精科、屹唐股份、富创精密、芯源微。与此同时，仅晶升股份2025年上半年营收负增长。

　　新型半导体设备的推出与新产线的规模量产，成为支撑科创板半导体设备公司实现收入增长的重要因素。薄膜沉积领域，拓荆科技作为今年上半年营收增幅最高的企业，期内实现营业收入19.54亿元，同比增长54.25%。其先进制程验证机台已通过客户认证，PECVD Stack等先进工艺设备量产规模持续扩大。量检测设备领域，中科飞测上半年营收增幅同样超过五成，达7.02亿元，明暗场设备已进入多家头部客户产线验证阶段。

　　在刻蚀设备领域，中微公司作为国内市值超千亿的龙头企业，上半年实现营收49.61亿元，同比增长43.88%。其中刻蚀设备销售约37.81亿元，LPCVD设备销售约1.99亿元，同比增长约608.19%。公司目前在研项目涵盖六类设备，研发周期缩短至两年以内，新产品推出速度显著加快。半导体设备国产化进程持续推进，头部企业技术突破带动产业升级。

　　相对于营收正增长的企业，晶升股份面临较大压力。今年上半年，该公司营业收入1.58亿元，同比减少20.29%；归母净利润-745万元，同比下降121.28%。公司正加速CVD设备、切割设备等新产品研发，同时推进特种材料业务进程，上半年研发费用占比达12.98%。浙商证券研报指出，关键设备研发突破推动板块业绩增长，国内设备各环节正积累自主IP，机台稳定性持续提升，国产化采购有望提速。

　　头部企业贡献近七成利润 AI驱动产业复苏

　　上半年科创板半导体设备公司归母净利润呈现分化态势，共8家企业实现正增长，5家负增长。处于头部位置的中微公司、盛美上海、华海清科、屹唐股份4家贡献近七成净利润。

　　其中，中微公司归母净利润7.06亿元，同比增长36.62%。盛美上海作为清洗设备龙头，上半年归母净利润6.96亿元，同比增长56.99%，电镀设备销量显著提升。华峰测控归母净利润1.96亿元，同比增长74.04%，业绩增长归因于AI带动与汽车电子等下游领域复苏。多家企业在半年报中表示，AI技术落地为设备增长提供强劲动能，全球半导体行业在AI浪潮下步入新一轮增长周期。

　　先锋精科等5家企业净利润同比负增长，但部分公司研发投入增加。如芯源微上半年研发费用同比增长12.87%，达1.32亿元。拓荆科技表示，随着新产品验证机台完成技术导入并实现量产突破，2025年第二季度毛利率环比改善。市场观点认为，本土晶圆厂囤积海外设备导致国产设备下单节奏受影响，但浙商证券认为全球成熟工艺产能供过于求是阶段性现象，若传统消电、AI终端放量成长，供需情况有望反转。

　　扩产与行业整合提速

　　生成式AI支出爆发式增长，Gartner预测2025年全球生成式AI支出将同比增长76%达6440亿美元。SEMI总裁表示，预计今年全球半导体制造设备销售额将再次扩大，2026年创下新纪录。面对需求增长，国产设备企业积极扩产。中微公司计划覆盖半导体高端设备50%-60%市场，拓荆科技“高端半导体设备产业化基地”将提高薄膜沉积设备产能，盛美上海临港厂区满产状态下可达100亿元产能。

　　政策方面，国家大基金三期支持设备和零部件国产化，新“国九条”等政策推动产业并购升温。2025年上半年，北方华创完成收购芯源微17.9%股份，成为第一大股东，行业进入深度整合期。中微公司参设15亿元产业基金布局半导体产业链，拓荆科技参股10余家公司并关注并购标的。海光信息拟吸收合并中科曙光，形成一体化优势，提升芯片性能，对标国际巨头。半导体设备行业在技术突破、产能扩张与资本运作的推动下，正迈向高质量发展新阶段。

（文章来源：财联社）

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