光刻机概念活跃 国创中心氮化镓技术获突破

　　光刻机概念盘中走势活跃，截至发稿，中船特气、凯美特气、东材科技等涨停，华特气体、华懋科技涨超9%。

　　消息面上，据深圳市国资委消息，国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台（简称“国创中心”）在氮化镓/碳化硅集成领域取得突破性进展。该国创中心首次研制了商用8英寸4°倾角4H-SiC衬底上的高质量氮化铝镓/氮化镓异质结构外延，能显著降低氮化镓外延材料的缺陷密度，大幅提升散热性能，有望解决其可靠性问题。这一成果打破了大尺寸氮化镓与碳化硅材料单片集成的技术瓶颈，为氮化镓/碳化硅混合晶体管的发展和产业化进程奠定基础。

　　机构表示，随着5G技术、汽车、无线通信等的高速发展，对耐高温、耐高压、高频及大功率性能需求迫切。氮化镓作为第三代宽禁带半导体的代表，拥有宽禁带、高击穿场强等优点，制备出的器件在散热、能耗等方面优势明显，能提升新兴电力电子器件性能，节省能源。

　　天风证券指出，为获得性能更优的氮化镓器件，各大厂商正在寻求技术突破。随着氮化硅功率器件性能及性价比提升，未来在高、中、低电压场景下都有很大发展潜力，看好其在汽车电气系统等领域的发展。

（文章来源：证券时报网）

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