芯上微装收购威耀实业，国产光刻机领域迎新动向
国产光刻机领域又传来新消息。近日，上海威耀实业有限公司（简称“威耀实业”）发生股东信息变更，上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）退出，上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）成为威耀实业的新增全资股东，认缴出资额同样为2.285亿元。公开资料显示，威耀实业是一家从事有色金属冶炼和压延加工业的企业，此前为上海电气控股集团成员。而芯上微装是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。有业内人士表示，芯上微装是从上海微电子分拆出的公司，此番收购威耀实业，或许意味着其重新回到“上海微电子旗下相关资产上市平台”的定位。此外，芯上微装在封装用光刻机等设备领域也颇具实力，曾举办第500台步进光刻机交付仪式，并自主研发了首台350nm步进光刻机（AST6200）。
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