5月21日，半导体设备ETF（561980）上涨3.01%。第一大权重股中微公司涨近6%，第二大权重股北方华创涨近9%，股价纷纷再创历史新高！长川科技、拓荆科技、海光信息跟涨。
　　半导体设备还能上车吗？
　　招商基金半导体设备ETF（56

　　5月21日，半导体设备ETF（561980）上涨3.01%。第一大权重股中微公司涨近6%，第二大权重股北方华创涨近9%，股价纷纷再创历史新高！长川科技、拓荆科技、海光信息跟涨。
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　　5月18日，半导体设备板块延续强势。半导体设备ETF招商(561980)开盘上涨2.96%，盘中净值突破3.081再创历史新高！第一大权重股中微公司涨近6%，北方华创、寒武纪、拓荆科技、海光信息、花海清科涨幅居前。据Choice，今年以来