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首页 > TAG信息列表 > 步进扫描式光刻
步进扫描式光刻

上海微电子装备中标步进扫描式光刻机项目,金额约1.09亿

上海微电子装备(集团)股份有限公司近日中标步进扫描式光刻机项目,中标金额约1.09亿元。步进扫描光刻技术结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势,适用于0.25μm以下的制造工艺。
2025-12-25
股市要闻
4050 2025-12-25
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