
上海微电子装备中标步进扫描式光刻机项目,金额约1.09亿
上海微电子装备(集团)股份有限公司近日中标步进扫描式光刻机项目,中标金额约1.09亿元。步进扫描光刻技术结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势,适用于0.25μm以下的制造工艺。

上海微电子装备中标1.1亿光刻机项目,张江高科股价拉升
上海微电子装备(集团)股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目,成交金额1.1亿元。公告显示,中标供应商地址为上海市张江高科技园区。张江高科股价因此拉升。
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