
上海微电子装备中标步进扫描式光刻机项目,金额约1.09亿
上海微电子装备(集团)股份有限公司近日中标步进扫描式光刻机项目,中标金额约1.09亿元。步进扫描光刻技术结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势,适用于0.25μm以下的制造工艺。

政府投资力度增强 基建投资增速有望提升
南方财经8月13日电,政府投资力度持续增强,1至7月项目中标金额同比增长31.9%,工程机械开工率上升,基建投资增速下半年有望提升。
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