全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”进入应用测试，精度比肩国际主流。全球光刻设备市场规模持续增长，国产半导体产业链企业取得显著进展，建议关注相关投资机会，特别是博众精工和路维光电等上市公司。

6月18日，基金共对21家公司进行调研，其中恒帅股份、思特威、博众精工等公司备受关注。调研公司涉及多个板块和行业，市场表现各异，部分公司近5日资金净流入显著。